| 探頭 | F400 | F1 | F1/90 | F10 | N400 | N1 | CN02 | |
| 測量原理 | 磁性 | 渦流 | ||||||
| 測量范圍（μm） | 0～400 | 0～1250 | 0～10mm | 0～400 | 0～1250 |
10～200
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| 測量精度μm | 一點校準 | ±[(1～3)%H+0.7] | ±（3%H+1） | ±（3%H+10） | ±（3%H+1） | ±（3%H+1.5） | ±(3%H+1) | |
| 二點校準 | ±（1～3％H+0.7） | ±[(1~3)%H+1] | ±[(1～3)%H+10] | ±[(1～3)%H+1] | ±[(1～3)%H+1.5] | --- | ||
| 低限分辨率 | 0.1 | 0.1 | 1 | 0.1 | 0.1 | 1 | ||
| 最小曲率半徑(mm) | (凸)1 | 1.5 | 平直 | 10 | 1.5 | 3 | 僅為平面 | |
| 最小面積直徑(mm) | ￠3 | ￠7 | ￠40 | ￠4 | ￠5 |
￠7
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| 基本臨界厚度(mm) | 0.2 | 0.5 | 2 | 0.3 | 0.3 | 無限制 | ||
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